防腐真空泵的真空熱處理被當代熱處理界稱為節能的清潔熱處理。真空熱處理零件具有不氧化、不脫碳、不脫氣、不脫脂、表面質量好、變形小、綜合力學性能高、可靠性好(重復性好、壽命穩定)等一系列優點。因此，真空熱處理在國內外得到了廣泛的重視和應用。而真空熱處理的普及程度被視為衡量一個國家熱處理技術水平的重要標志。真空熱處理技術是近四十年來熱處理技術發展的熱點，也是先進制造技術的重要領域。在這里，我們將告訴你一些用真空熱處理真空泵時應該注意的：
　　1.用防腐真空泵處理鈦合金時，不應使用氮氣作為冷凝氣體，因為鈦和氮氣會在高溫下反應生成金色鈦。
　　2.真空泵的活動連接部分用O型橡膠圈密封，這部分用水冷。
　　3.真空泵在真空中淬火工件，應使用真空淬火油，這種油具有較低的飽和蒸汽壓。
　　4.真空爐的維護應處于真空或純氮氣狀態，防止不使用時吸入濕氣。
　　5.防腐真空泵壓力上升速率不應超過1.33帕/小時，國外一些企業規格為0.67帕/小時
　　6.真空加熱以輻射為主，工件應堅持在爐內的距離。
　　7.在防腐真空泵加熱工件的過程中，爐內數據會被放氣，使真空度下降。
　　8.真空回火、真空退火、真空固溶處理和真空時效加熱溫度一般與常規處理相同。
　　9.真空回火爐應有快速冷裝置。冷水的壓力應大于0.2兆帕流量，并應可調。
　　以上就是有關防腐真空泵熱處理時應注意的幾個問題，真空泵進入工件后，在普通預熱前預抽至6.67Pa。